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제품소개
COXEM의 CP-8000+은 아르곤 이온 빔을 이용하여 시료의 단면을 식각하는 장비로, 시료 단면에 구조적 손상과 같은 물리적 변형을 주지 않으며 화학적 공정 또한 필요하지 않아 복잡한 공정 없이 깨끗한 단면 처리가 가능합니다.
또한 수십um에서 수mm 영역까지 보다 넓은 면적을 가공하여 시료 단면 분석에 용이합니다.
어플리케이션
제품사양
Gas Used | Ar(Argon) gas |
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Milling Speed | 700 μm/h (Si at 8kV) |
Accelerating Voltage | 2~8 kV |
Beam Diameter | Approx. 500 μm |
Working Pressure | 4.3 x 10-5 torr |
Beam Alignment | Precision beam alignment using Digital Microscope |
Maximum Sample Size | 20(W) x 10(D) x 9(H)mm |
Sample Moving Range | (Z: ±2mm, Y: ±2mm) |
Rotation | -35° ~ +35° |
Stage for Flat Milling | Tilt Range : 40° to 80° Rotation Speed : 6 rpm/min Sample Size : Ø30 x 11.4mm |
Display | Touch panel (1024 x 600 7 inch display) |
Chamber Camera | Magnification : x5, x10, x20, x40 4 step brightness control Ion beam observation mode |
Digital Camera for sample alignment | Magnification : x5, x10, x20, x40 USB type |
Evacuation System | Turbo-molecular pump (66L/s) + Diaphragm pump |
Dimension | 610(W) x 472(D) x 415(H)mm |